L115S
オートステージストークスエリプソメータ
基本仕様
- 測定方式
- ストークス方式
- 光源
- He-Neレーザ (波長 6328Å)
- 測定角度
- 45, 50, 55, 60, 65, 70 °
- ビーム径
- 1mmφ
- 測定精度
- 測定時間
-
- 1ポイント
- 0.5秒 以下
- 5ポイント
- 40秒 以下(ステージ動作含む)
- 試料台
-
- ステージ径
- 8"(サンプルの直径200mmφ)
- 駆動軸
- X-θ
- チルト機構
- 有
- X方向
-
- 移動量
- 0～100 mm
- 速度
- 20 mm/秒(最大)
- 分解能
- 0.01mm
- θ方向
-
- 移動量
- 0～360°
- 速度
- 20° /秒(最大)
- 分解能
- 0.01°
- スキャンパターン
- プログラムにより、5又は9ポイント及びX-Yグリッドの測定が可能。
- 電源
- 100VAC (50/60Hz)
- 重量
- 60kg (本体のみ)
- 装置寸法
- H18×W33×D15 inch(本体のみ)
- *
- Si上のSiO2(180 ,400 ,1000Å)を用いて測定を行った場合。
- 但し、屈折率の測定はSiO2(1000Å)のみとし、他は (Nf = 1.46)固定とする。
- Si上のSiO2(180 ,400 ,1000Å)を用いて測定を行った場合。