エリプソメータについて

概要

ガートナ社製エリプソメータはプロダクションタイプの製造を始めて30年を越え、ますます御愛顧いただいております。信頼性と高精度を兼ね備え、全世界で2000台以上の納入実績を誇っており、あらゆる顧客ニーズにお応えできるよう現在も努力を重ねております。

エリプソメータはエリプソメトリ(楕円偏光解析)を用い、非接触及び非破壊で試料面上の薄膜厚及び屈折率あるいは吸収係数を測定する装置です。

エリプソメトリとは物質の表面より反射する光の偏光状態の変化を解析する手法です。他の測定方法と比べ、薄膜の厚さ測定を、簡単操作で高精度・高再現性・高スピードに実現出来ます。


特徴

エリプソメトリには色々な測定方式があります。ガートナ社では古くから実績のあるローテイティングアナライザ方式をL/LMシリーズに採用し、さらに高速・高再現性を実現するストークス方式をSシリーズで採用致しております。

LMシリーズ
全自動型測定器
  • ガートナ社との共同開発による全自動化対応仕様
  • Lシリーズをベースに、オートフォーカス及びオートチルトを標準で装備。より高精度・高再現性を実現
  • コンパクトな一体構造。設置が容易
  • ウェハーサイズは 5、6、8インチを標準サポート。オプションで10インチに対応可能
  • ウェハーのオリフラ&ノッチの選択も標準でサポート
  • 測定実績の高いローテイティングアナライザ方式
Lシリーズ
世界の標準測定器
  • 従来タイプ
  • コンパクトに出来ているため、設置が容易
  • ウェハーサイズは 5、6、8インチを標準サポート。オプションで10インチをサポート
  • 測定実績の高いローテイティングアナライザ方式
  • LMシリーズへのアップグレードが可能。高精度・高再現性を実現出来ます
Sシリーズ
次世代型測定器
  • ストークスエリプソメータ
  • 49ポイントを50秒以内の高速測定と高再現性を実現
  • 駆動部分が無いためメンテナンス費用の削減が可能

LMシリーズ

全自動型測定器
オートフォーカス付属

LM115AF-WH
ウェハ搬送
LM300AF-WH
12インチ対応
LM106AF
大型基板用

Lシリーズ

世界の標準自動測定器

L115E
オートステージ
L116D
標準型
L106DS
大型基板用オートステージ
L106D
大型基板用

その他にも多種多様なタイプが有ります。

Sシリーズ

次世代型自動測定器

L116S
標準型
L115S
オートステージ
LSE
簡易型。コンパクト&低価格

アップグレード

オートフォーカス(AF)
オートチルト(AT)

LM115AF/T
L115タイプ用AF&AT改造キット
LM115AF
L115タイプ用AF改造キット

多彩なオプション

マイクロスポットオプティクス
L116CMS
16µmø
L116DMS
10µmø以下
ソフトウェア
MI-LINK
統合化プログラム
MI-BASE
データ管理オプション
3Dマップ
マッピングオプション

上記の他にも多種多様なオプションが有ります。お問い合わせください。