オプション

マイクロスポットオプティクス

L116CMS

スポット径: 16µmø

L116DMS

スポット径: 10µmø以下

L116CMS(アナライザ部分)

L116CMSを装着した状態

LMシリーズ

全自動型測定器
オートフォーカス付属

LM115AF-WH: ウェハ搬送
LM300AF-WH: 12インチ対応
LM106AF: 大型基板用

Lシリーズ

世界の標準自動測定器

L115E: オートステージ
L116D: 標準型
L106DS: 大型基板用オートステージ
L106D: 大型基板用

その他にも多種多様なタイプが有ります。

Sシリーズ

次世代型自動測定器

L116S: 標準型
L115S: オートステージ
LSE: 簡易型。コンパクト&低価格

アップグレード

オートフォーカス(AF)
オートチルト(AT)

LM115AF/T: L115タイプ用AF&AT改造キット
LM115AF: L115タイプ用AF改造キット

多彩なオプション

マイクロスポットオプティクス

L116CMS: 16µmø
L116DMS: 10µmø以下

ソフトウェア

MI-LINK: 統合化プログラム
MI-BASE: データ管理オプション
3Dマップ: マッピングオプション

上記の他にも多種多様なオプションが有ります。お問い合わせください。